「自動検査装置を微細化に対応させたい」
あるいは「装置の自動化を検討している」など。
半導体検査に関するあらゆる課題に応える
ソリューションが、朝日光学にはあります。

① 外観顕微検査を省力化する

複数のズームレンズを取り替えながら、手間暇かけて試料と向き合う。そんな半導体ウェーハの単体検査を卒業しませんか。

朝日光学レンズは、全製品がズーム対応。最大拡大比率は12倍です。最初は広い視野で観て、注視したいポイントを一気に拡大することも可能です。

ウェーハの欠陥・異物・ゴミなどの外観顕微検査に最適化された朝日光学ズームレンズ。検査工程を省力化させつつ、既存の装置に組み込みやすいことが大きな特徴です。

▶ マニュアル型高倍率ズームレンズの詳細を見る：AZ10-Tシリーズ（アプリケーションレンズサイトへ移動します）
▶ マニュアル型高倍率ズームレンズの仕様一覧

② 非破壊検査を簡易に実施する

赤外線による透過は、朝日光学ズームレンズが持つ優位性です。既存の検査装置のレンズを置き換えるだけで、スマートに赤外顕微鏡化。X線を用いる前の、一次的な非破壊検査を簡易に実施できるようになります。

ズームによって観察対象からの距離を保てるため、レンズを近づけることで試料を壊すようなリスクもありません。

▶ マニュアル型赤外高倍率ズームレンズの詳細を見る：AZ10-IRTシリーズ（アプリケーションレンズサイトへ移動します）
▶ マニュアル型赤外高倍率ズームレンズの仕様一覧

③ 試料の破損リスクをなくす

ズームレンズは、朝日光学の代名詞。このズームレンズのメリットは、観察距離を長く保てること。レンズと被写体間の距離を離しておける点にあります。そのため、大切な試料にレンズを近づけすぎて破損させるリスクを限りなくゼロにできるのです。

観察距離が長いことは、検査装置のレンズの置き換えも容易にします。半導体の微細化を踏まえた分解能向上という課題も、望遠レンズのような朝日光学ズームレンズなら装置を大改造することなく対応できるのです。

また、朝日光学ズームレンズは、全製品が同軸落射照明に対応。オプションの照明は不要です。さらに観察距離が長く取れるので、別途リングライトやドーム型リングライトを取り付けることもできます。

▶ マニュアル型高倍率ズームレンズの詳細を見る：AZ10-Tシリーズ（アプリケーションレンズサイトへ移動します）
▶ マニュアル型赤外高倍率ズームレンズの詳細を見る：AZ10-IRTシリーズ（アプリケーションレンズサイトへ移動します）

④ MEMS加工部の検査を時短化する

MEMSの微細加工部の検査も、朝日光学レンズが得意とするところです。既存のイオンミリング装置に付属するレンズの分解能に不満を感じていませんか。

それならば朝日光学レンズに置き換えることで、顕微観察が実現できます。しかも、ズームレンズの特性を活かして長い観察距離を保ったまま、スピーディーに行えるのです。

▶ マニュアル型赤外高倍率ズームレンズの詳細を見る：AZ10-IRTシリーズ（アプリケーションレンズサイトへ移動します）

⑤ 試料を正確な色で観察する

観察対象の色をそのまま再現できること。これは光学レンズを用いるマイクロスコープと、電子顕微鏡やX線の最大の差違です。初期対応の観察に最適といえます。

たとえば、出荷時の検査装置に朝日光学ズームレンズを装着すると、ウェーハの酸化膜も正確に捉えられるようになります。

朝日光学は求められる色味に応じて、観たい色の表現を誇張するなどカメラの調整もサポートします。

▶ マニュアル型赤外高倍率ズームレンズの詳細を見る：AZ10-IRTシリーズ（アプリケーションレンズサイトへ移動します）

⑥ 操作のストレスを解消する

朝日光学マニュアル型ズームレンズは、クリックによって各倍率にぴったり調整できます。元に戻す場合など、直感的な倍率の校正がしやすい設計にしています。

あわせて中心位置の再現性にもこだわりが。最初は広い視野で観て、注視したいポイントを一気に拡大する場合もピントがぼけず、中心位置をずらさず焦点距離を動かせます。顕微鏡専業メーカーとして長年培ってきたノウハウによる、高い精度と堅牢性を有しています。