「自動検査装置を微細化に対応させたい」
あるいは「装置の自動化を検討している」など。
半導体検査に関するあらゆる課題に応える
ソリューションが、朝日光学にはあります。

① 自動検査装置を微細化に対応させる

半導体微細化のロードマップはどこまで進んでいくのでしょうか。加速する流れにおいて、検査の現場で鍵となるのは顕微鏡の対物レンズです。

朝日光学のレンズは、全製品がズーム対応。半導体の欠陥・異物・ゴミなどの自動検査装置の顕微鏡観察に最適化されています。

「電動型の高倍率レンズ」という独自の特徴によって変倍を自動化、さらに遠隔での操作も可能にしています。検査工程を効率化させつつ、既存の装置に組み込みやすいことが大きな特徴です。

▶ 電動型高倍率ズームレンズの詳細をみる：AZ10-Eシリーズ（アプリケーションレンズサイトへ移動します）
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② 検査装置を容易に自動化する

検査装置の自動化にはコストがかかる。朝日光学は、そんな常識の壁にチャレンジし続けています。

特に、多品種少量生産のメーカーにおすすめなのが、装置の一部である「レンズを自動化する」という考え方です。検査の全行程を自動化するのではなく、一部を「電動型の高倍率レンズ」に置き換える。

小回りの効く検査体制を維持しつつ、低コストかつスピーディに自動化による効率化が実現できます。

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③ アライメントを簡易にする

ウェーハ接合用自動アライメント装置の、高精度位置決めをスマートに。朝日光学は、赤外ズームレンズによって実現します。

ズームによってアライメントマークの位置を正確に捉え、なおかつシリコンウェーハで隠れてしまうマークも赤外線によって上から透過。このオンリーワンの技術で、高精度な位置決めをサポートします。

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④ 試料の破損リスクをなくす

ズームレンズは、朝日光学の代名詞。このズームレンズのメリットは、観察距離を長く保てること。レンズと被写体間の距離を離しておける点にあります。そのため、大切な試料にレンズを近づけすぎて破損させるリスクを限りなくゼロにできるのです。

観察距離が長いことは、検査装置のレンズの置き換えも容易にします。半導体チップの微細化を踏まえた分解能向上という課題も、望遠レンズのような朝日光学のズームレンズなら装置を大改造することなく対応できるのです。

▶ 超長作動ズームレンズの詳細を見る　AZ10-100〜500T/Eシリーズ（アプリケーションレンズサイトへ移動します）
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⑤ 過酷な条件の検査への対応

真空チャンバーでも、朝日光学のズームレンズは活用されています。最大12倍ズームができる性能を活かして、耐久性などの製品の変化をリアルタイムで観察。

ビューポートから、人間の目や監視用のカメラでは把握できない20〜30ミクロン単位の顕微観察を可能にしています。

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⑥ 狭小スペースに設置する

既存の検査装置でレンズを置き換える際、多くの場合で課題となることがあります。それは設置スペースの狭さ。朝日光学のズームレンズは、1モデルあたり数十種類のカスタマイズができる構造に設計。ローコストかつスピーディに狭小スペースへの設置を実現します。

たとえば普通のレンズでは入りようがない、装置の下から観察する真空チャンバーであれば、「レンズの筐体をL型にする」ことで対応。「どのように組み込めばよいか、どんなレンズを選定すべきか」豊富な実績とノウハウを有しています。