まずは顕微鏡の種別について。基本を整理します。

半導体ウェーハの欠陥を解析したい。その時、どの顕微鏡を用いると効率的に進められるのか。迷ったことがある方は多いのではないでしょうか。

その選択肢の一つとなる光学顕微鏡は、主に可視光線を利用して反射した光をレンズで捉えるもの。もう一方の走査電子顕微鏡（SEM＝Scanning Electron Microscope）は、この光の代わりに波長の短い電子線を利用します。

両者の差は、分解能（解像度）の限界にあります。光学顕微鏡が約0.25μm（1μm = 1/1000mm）／倍率：数千倍であるのに対して、SEMは数nm／倍率：数万倍まで対応。さらにSEMは、広い範囲に焦点を合わせられるので、試料の表面構造について非常にくわしい情報が得られます。

また、SEMは試料の表面に電子線を照射して、反射してくる電子を検出・結像することにより、外観形状（表面の凹凸など）を明確に観察することが可能です。透過電子顕微鏡（TEM＝Transmission Electron Microscope）と比較すると、SEMで観察できる画像は立体的であり、TEMの方は平面的になります。

そのため、まず光学顕微鏡でだいたいの外観や形状を把握して、SEMでより高い倍率で分析する、という流れが使い分けとして適切と言えます。

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ズームレンズを知るTips集
【Tips01】光学顕微鏡と走査電子顕微鏡（SEM）の使い分け
【Tips02】「デジタルマイクロスコープ」と「SEM」の勘違い
【Tips03】「デジタルマイクロスコープ」「SEM」の役割分担
【Tips04】朝日光学のレンズがもたらすデジタルマイクロスコープの進化
【Tips05】朝日光学ズームレンズによるアプリケーションの強み①
【Tips06】朝日光学ズームレンズによるアプリケーションの強み②